二手 VEECO / DEKTAK V 300Si #293585852 待售
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ID: 293585852
Surface profilometer
Axis control card non-functional
Power supply: 240 VAC, 3 A.
VEECO/DEKTAK V 300Si是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供精確、可重復的測量和先進的工藝控制,外形緊湊。該系統適用於廣泛的實驗室和生產測試環境,從小型研究設施到大型工業場所。該單元采用完全集成的非接觸式三軸計量機,結合輕型、剛性、閉環XYZ級,用於測量直徑300毫米以上的樣品。非接觸式計量學工具采用先進的激光三角測量技術,它允許在大型Δ上進行高精度、低噪聲和線性可重復性測量。該資產還具有獨特的雙軸級,用於對樣品曲面進行高精度的傾斜和旋轉測量。對於晶片測試,VEECO V-300SI采用機械晶片探針模型,允許無損檢測和測量直徑不超過12英寸的晶片。該設備具有提供高對比度圖像的背光校準系統,能夠精確測量表面粗糙度、表面高度以及反射率、反向散射、均勻性等光學參數。對於高級過程控制和分析,DEKTAK V-300 SI使用高級算法來識別樣本曲面特征和映射關鍵參數,如線寬和空寬、臨界尺寸和非均勻性。這個單元還包括一個獨特的漂移校正算法,它可以補償晶圓平坦度隨時間的任何微小變化。在用戶界面方面,VEECO/DEKTAK V-300 SI具有直觀、易於使用的軟件,具有圖形決策服務和自動數據分析功能。它還帶有多種編程語言和API,允許用戶自定義其測試環境並最大化機器的功能。總體而言,DEKTAK V 300Si是一種先進的晶圓測試和計量工具,旨在提供精確、可重復的測量和先進的工藝控制,外形緊湊。該模型具有獨特的非接觸式計量資產和先進的分析算法,非常適合廣泛的實驗室和生產測試環境。
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