二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330 #9379227 待售

VEECO Dimensions VX 330是一款先進的晶圓測試和計量設備，旨在滿足半導體生產的嚴格需求。該系統利用強大的精密測量硬件、先進的顯微鏡光學和現代視頻電子設備，實現了晶圓和樣品的快速、精確測量。該單元具有精確的三軸運動平臺,可在較大的工作區域內提供可重復的掃描精度,X-Y-Z分辨率可降至3納米。高分辨率相機可以以高達6微米的分辨率捕獲圖像數據。自動邊緣縮放和瞄準功能可實現高精度、高速的測量對齊。該機還具有高性能的石墨/陶瓷樣品級，可容納150和200毫米晶圓。利用專利的混合壓電執行器，該級具有非凡的線性和滯後特性，具有穩定、可重復的效果。自我診斷和主動調平使晶圓的變化快速而準確。VX 330附帶了高級分析軟件,解決了從晶圓平面度、臨界尺寸（CD）測量和叠加結果到定量3 D輪廓成像等廣泛的表面計量應用。工業級3D成像算法能夠對復雜樣本進行快速、準確的3D分析。結合全面的統計分析、自動化的報告功能和樣本歸檔工具,該工具為現代生產測試設施提供了全面的晶圓測試和計量解決方案。此外,該資產還具有體系結構和軟件升級功能,提供了向新技術的遷移路徑,並提高了測試吞吐量和可重復性。