二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330 #9381674 待售

VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330是一種原子力顯微鏡（AFM）和掃描隧道顯微鏡（STM）晶片測試和計量設備，非常適合表征半導體晶片和器件的3D表面地形。VX 330適用於各種應用，包括電阻率測量、CMP檢測、抗蝕劑和地形成像，以及用掃描離子電導顯微鏡（SICM）進行缺陷分析。該系統通過其先進的光學器件和5軸電動采樣級提供高通量脈沖廣域成像以及晶圓和器件的3D地形圖,可提供高達0.5nm的舞臺分辨率和-5至5微米的垂直傳播範圍。為了提高基於表面粗糙度的精確度成像,VX 330提供了一種專利螺旋方法,結合了高速X-Y掃描功能,每小時可提供多達17,000張圖像,采用單一掃描配方。VX 330的AFM模式支持矽掃描探針和掃描電容顯微鏡（SCM）探針等幾種探針類型。多掃描模式具有兩個不同的掃描方向，以更快地獲取數據和改進精度更大的掃描。該單元的STM模式提供了可靠的隧道電流地形成像樣品包括薄膜和薄層到大約3個原子層。該模式利用壓電驅動的z反饋控制器，對掃描探頭進行精確反饋和精確定位，以實現高分辨率成像。VX 330的探針控制特性通過保持最佳常數並適應探針行為、測量樣品電容和樣品溫度的「成像一致性」功能得到進一步增強,以確保可靠和準確的成像。High Precision XY和Sub-Pixel激光剖面圖還增強了3D特征的地形圖,它提供高分辨率掃描成像,精度高達0.34納米,掃描範圍高達3.5mm ²。大型彩色顯示器和帶有直觀圖標的易於使用軟件可幫助用戶準確輕松地控制VX 330。該機器還允許自動收集和存儲具有數據存儲功能的獨立於圖像的數據。此外,工具中功能強大的報告編寫功能有助於與同事或客戶共享結果。VX 330是半導體表征和晶圓缺陷分析的理想的晶圓測試和計量資產。