二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340 #9270545 待售
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單擊可縮放
ID: 9270545
Atomic force profiler, 12"
Head: 15µm
Chuck: Prealign low contact
Dual port ISO BROOKS.
VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340設備是一種晶圓測試和計量系統,旨在對關鍵晶圓特性進行高速、高精度的測量。該單元具有四瓦結構、環境控制、可見光波長擴展以及高保真光束轉向等高級功能,可提高吞吐量和性能。該機器采用集成的4瓦設計,允許晶片多次放置,從而實現高速晶片測試。這一特性還降低了對單個晶片類型或單次通過序列的依賴性,由於提高了精度和可重復性,導致了更高效的光刻工藝。該工具還配備了動態橫梁轉向功能,提供高精度橫梁定位,無隨機誤差。它與廣泛的晶圓尺寸和材料兼容,可以測量晶圓上任意深度的特征,從而實現對整個設備的高精度計量。此外,該資產還具有先進的環境控制模型,用於控制晶圓周圍環境的溫度和濕度,以確保結果一致。該設備還提供自動調諧系統,使設備能夠快速調整以適應晶圓擾動,並以高精度符合嚴格的表面測量。VX 340機還配備了集成的可擴展可見波長工具,能夠對計量和測試結果進行高分辨率表征。這是通過先進的軟件算法實現的,允許資產為每個樣本選擇和優化最佳圖像捕獲參數。最後,該模型采用了一系列用戶友好的功能,以最大程度地減少操作員幹擾,同時提高吞吐量。憑借用戶友好的圖形用戶界面和直觀的測量能力,VEECO Dimension VX 340設備是高性能晶圓測試和計量的理想解決方案。
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