二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 #9063709 待售
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單擊可縮放
ID: 9063709
優質的: 2002
Atomic force profiler
Model #: DUVx200
Long scan profiles: Die length (up to 100mm)
Profile stage: up to 100mm
1μm X-Y axis repeatability
6μm vertical range
Superior step height repeatability: <5Å - 0.1μm and 1μm steps (1σ ); 20 traces at
20μm/sec scan speed
Unsurpassed lateral resolution: Low force, small tip radius (<10nm nominal)
True dishing and erosion analysis
OneScan Profiling: Zoom in on long scans without loss of resolution
High speed profiling: Up to 200μm/sec
Auto tip evaluation
Automatic exchange in ~4 minutes
24-tips per cassette
Dual cassette for different tip types
Throughput:
7wph (5 sites) for profiles
5wph (5 sites) for images
Profiler mode:
Data points/scan: 262,000
Imaging mode:
512 x 512 data points
Up to 65μm square area scans
Die scale imaging
3D visualization and analysis software
Optics:
Dual optics with 150μm and 600μm viewing area
Low magnification optics (3mm viewing area)
Capacity: 10 kA
220-25- VAC, 3.6 A
2002 vintage.
VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200是一款先進的晶圓測試和計量設備，旨在使制造商能夠對當前和下一代半導體器件進行加速的生命周期測試和可靠性評估。該系統的高端自動化能力和具有光學功能的計量工具在過程控制和尺寸監控方面提供了卓越的準確性和可靠性。VEECO VX 200單元設計用於一次測試多達三個晶片，晶片尺寸直徑在2到8英寸之間。此外，該機可處理200至500微米或1,500至2,500微米的晶圓厚度。該工具包括一系列功能，包括高級自動化測試控制器、支持高通量計算機輔助測試（CAT）系統和高級晶圓探針卡。這種功能的組合使得能夠快速自動測試和測量過程參數,並提高了客觀測試和設備功能表征的準確性和可重復性。DIGITAL INSTRUMENTS VX 200強大的光學子系統是資產的關鍵資產,能夠測量和表征關鍵特性,如粒度、缺陷密度、晶片對準和基板厚度。這種測量和分析使設備設計人員能夠優化性能和可靠性。該模型直觀的用戶界面提供了對高級設備控制選項的輕松訪問，包括內置的計量功能、統計軟件和流程可追蹤性工具。此外,它還擁有一整套軟件應用程序,使用戶能夠輕松訪問數據、校準儀器和運行測試。VX 200系統的設計是為了承受苛刻的測試和計量應用的嚴謹。它強大可靠的設計使其能夠集成到現代生產環境中。該裝置與廣泛的測試和計量系統兼容，其車載診斷和警報確保了機器停機率低。總體而言,VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200是一種先進的工具,使制造商能夠進行快速、準確和可靠的晶圓測試和計量。它結合了自動化功能和強大的光學子系統,使設備設計人員能夠監控和表征關鍵特性,從而提高性能並最大限度地提高設備產量。資產堅固可靠的設計確保它能夠承受現代制造工藝的嚴格要求。
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