二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS VX 210 #9097586 待售

VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 210是一款最先進的晶圓測試和計量設備，旨在滿足先進半導體加工和器件表征中最苛刻的應用。VEECO VX 210能夠提供各種基板的表面地形、電氣、光學、熱和應變特性的精確測量。DIGITAL INSTRUMENTS VX 210配備集成結構掃描顯微鏡（SSM），能夠提供一系列樣品表面的高分辨率圖像。它具有易於配置的示例級組件,可以準確定位基板。此外,VX 210采用全面的軟件構建,允許捕獲、分析和比較表面特征,如表面粗糙度、步高、圖案大小和圖案位置。VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 210的電氣計量能力使其成為設備結構和互連特性的理想選擇。其集成的電氣表征系統能夠監測一系列測試結構的復雜電響應，分析頻率響應、阻抗、電壓增益、封裝泄漏等特性。此外，VEECO VX 210具有廣泛的光學計量封裝，能夠測量光學反射率、透射和樣品吸收。最後,DIGITAL INSTRUMENTS VX 210采用創新的三軸熱探頭測量各種材料的熱阻,以及獨特的應變單元,能夠實時監測樣品變形。VX 210的三維掃描能力使其成為MEMS（微機電系統）等應用測試和監測物理和化學過程發展的理想機器。VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 210晶圓測試和計量工具是滿足最具挑戰性的半導體表征需求的理想解決方案。其廣泛的集成計量包，加上高度精確的成像能力和實時監控功能，使其成為各種高級計量任務的強大工具。