二手 VEECO Oasis 3000 #9002001 待售

ID: 9002001
Deep UV defect inspection system Missing the 100x objective.
VEECO Oasis 3000是一種晶圓測試和計量設備,設計用於生產環境中晶圓的精確、自動化計量和測試。該系統配備了精密的光學、運動控制系統和優越的測量精度。Oasis 3000具有五軸運動控制功能,可精確定位晶圓,並在晶圓表面進行自動化的陣列化測量。該設備的光學機器由兩鏡成像工具組成,可提供高達90倍的放大倍率,從而實現各種尺度的關鍵特征測量。集成成像電子設備可確保盡可能高的分辨率以獲得準確的讀數。VEECO Oasis 3000是一種功能強大但易於使用的資產,適合各種苛刻的測量。其真正的晶片級步進掃描模式能夠快速處理大型晶片,而其均勻性提供了極好的精度和可重復性。此外,Oasis 3000還提供了強大的數據分析功能,包括性能門等關鍵特性的自動確定、過程邊距的評估以及實際和預期測試結果的比較。這使用戶能夠快速識別生產過程中的趨勢和潛在問題,從而實現快速的流程優化。VEECO Oasis 3000旨在在最惡劣的生產環境中生存。其不銹鋼框架提供了魯棒性,並允許在斷電後不需要重置的情況下連續運行。該型號提供集成的液體冷卻,無風扇,可實現最大的超可靠性和最小的噪音。總體而言,Oasis 3000晶圓測試和計量設備可以提供可靠、準確和可重復的結果,從而在大批量生產環境中實現高效的生產和質量控制。其先進的光學和運動控制系統為操作員提供了控制的靈活性和精度,以達到最大的產量和性能。
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