二手 VEECO Profilometer #293671953 待售
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ID: 293671953
VEECO ProFiler是一個晶圓測試和計量系統,旨在測量高端半導體芯片的參數,如表面幾何形狀、晶體學取向、缺陷大小、摻雜和深度。ProFiler利用最新的自動化和數字成像技術,以最高的用戶舒適度提供了廣泛的計量功能。ProFiler支持對晶片進行無損評估,從最復雜的芯片到簡單的MEMS結構。VEECO ProFiler使用可互換的掃描探測器,這些探測器非常精確且靈敏,足以檢測電氣、材料和物理特性方面的任何不規則性。ProFiler可以使用獲得專利的多指針縮放功能掃描多達4英寸和6英寸的晶圓,該功能可以測量參數到納米分辨率。此外,集成的X-Y計算機控制級還通過MicronStep提供了全自動性能,該功能降低了測量過程中非線性運動的復雜性。ProFiler在發射器中的CCD數字圖像利用散射光來研究微觀結構,而不是映射地形特征。它可用於檢測納米級3D結構等特征以及由於電不連續而產生光散射的區域。這有助於快速準確地區分相同邊界下的相鄰結構、缺陷和缺陷。這有助於為探測(蝕刻)和修改(紋理)提供精確的測量。VEECO ProFiler的用戶友好界面具有直觀的圖形用戶界面(GUI),允許用戶快速設置測量。它還包括全面的數據分析功能,允許用戶研究和評估通過晶圓測試收集的數據。綜上所述,VEECO ProFiler是一個高度精確和敏感的晶圓測試和計量系統,可以用來測量高端半導體芯片的參數。它利用可互換掃描探針、X-Y計算機控制階段、發射機中的CCD數字圖像以及用戶友好的GUI,為探測和修改提供精確的測量。此外,ProFiler還包括全面的數據分析功能,可幫助研究和評估通過晶圓測試收集的數據。
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