二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293643666 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 150是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量半導體晶圓上的表面特征。它被配置為在檢查和計量當前和未來幾代集成設備的最佳性能。該系統建立在XYZ定位階段,具有更硬的行程、低摩擦軸承和更高的步進分辨率,可進行精確測量。VEECO DEKTAK 150利用先進的光學設計實現了最高分辨率,能夠測量低至1.5nm的特征。較高的分辨率是通過使用較大光源的大量光並通過改進的光學器件進行收集而實現的。SLOAN DEKTAK 150的核心是其強大的集成軟件包。開發了多種軟件模塊，以使該單元能夠對大量測試結構進行檢測，並具有強大的腳本編寫能力，以實現自動化任務。軟件甚至可以自動確定樣本的邊緣，從而無需繁瑣的手動測量。DEKTAK 150還配備了一系列附件,包括擴展掃描範圍的擴展器臂、探頭、I/O控制器和多儀表,以最大限度地提高性能。VEECO/SLOAN DEKTAK 150機器還能夠同時采樣多達5個晶片，非常適合測試和分析生產運行中的大量晶片。它具有一個自動化的環境，通過在計量室內提供溫度和濕度控制，可以實現全面準確和一致的結果。VEECO DEKTAK 150的性能使其成為用於缺陷檢測和表征的無情工具,使工程師能夠快速評估設備表面的均勻性以及是否存在劃痕和腐蝕。它也是評估晶圓強度和可靠性的一個很好的工具，因為它的高分辨率能力允許在各種過程中進行最準確的測量。總體而言，這種晶圓測試和計量工具是評估半導體晶圓的可靠且經濟高效的解決方案。