二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293665803 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 150是一種晶圓測試和計量設備，用於測量半導體的地形和厚度，精度和精確度都很高。該系統具有一個獨特的ID跟蹤單元,允許用戶定位先前分析過的晶片,以及一個集成的自動對焦機,用於將晶片與探測器精確對準,以及一個用於在測試期間定位晶片的三軸級。此外，VEECO DEKTAK 150能夠測量直徑最大為6英寸的晶片，並在距目標定位0.5 µm以內呈現晶片。SLOAN DEKTAK 150是一種無損測試工具，利用彈簧載荷定位器（SLP）支持的垂直手寫筆，利用位置感測激光幹涉儀（PSI）的反饋，允許測量晶圓拓撲。結合動態範圍跟蹤,DEKTAK 150能夠在任何給定範圍內利用手寫筆行程的全部範圍,在測量時保持與樣本的對齊。SLP資產也被用於測量晶圓的厚度。這是通過使用Z伺服控制循環來完成的，該循環通過控制垂直手寫筆的作用力來操作。通過設置所需的力,垂直手寫筆將保持在與調整所施加的力相同的物理位置。隨著力的降低，手寫筆被允許接近晶圓較高的高度，從而允許測量晶圓的厚度。VEECO/SLOAN DEKTAK 150還能夠在測量晶圓時提供異常粒子檢測。在這種模式下，隨著手寫筆繼續測量地形，3軸級在晶片上緩慢移動。將手寫筆檢測到的任何高度升高的物體登錄到模型中，可以進一步分析。VEECO DEKTAK 150還設有一套程序，以進一步利用和簡化其使用。其中包括特征分析程序，該程序提供了一整套用於定義、分析和比較晶圓拓撲變化的特征。定義後,將對特征進行叠代處理和分類,以便進行進一步的統計和圖形分析。SLOAN DEKTAK 150是半導體器件制造商使用的寶貴工具,可幫助他們開發、優化和診斷其生產。它的高精度測量和多種多樣的特性使它成為任何對晶圓測試和計量感興趣的人的寶貴資產。