二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293808885 待售

ID: 293808885
Surface profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK 150是為半導體表征而設計的多功能晶圓測試和計量系統。它可以同時測量半導體晶片的高度、表面紋理和各種電性能。VEECO DEKTAK 150利用專有的掃描力顯微鏡設計來測量半導體晶片的物理特性。它使用低力、高分辨率懸臂探頭測量具有微米尺度分辨率的均勻或非均勻地形特征的高度。它還可以表征分辨率小至5納米的表面紋理。掃描力顯微鏡可用於測量晶圓的皺紋、凹坑、峰和其他物理表面特征。SLOAN DEKTAK 150還包括一套電氣特性測量。它的四點探針炮塔允許測量片狀電阻、接觸電阻以及在廣泛的晶圓類型上的表面電位。它包括一個電容掃描儀,用於測量電容電壓和電容等效串聯電阻。DEKTAK 150還包括一個電氣參數表征系統,使用微服在靜態或動態模式下測量設備參數。VEECO/SLOAN DEKTAK 150由功能豐富的軟件包提供支持,該軟件包允許用戶快速高效地準確分析和記錄結果。它直觀的界面還允許用戶以各種方式可視化他們的測量。該軟件可幫助用戶快速評估晶圓級工藝指標,如噪聲、增益和故障。用戶還可以自定義自己的分析腳本以簡化工作流。VEECO DEKTAK 150是質量保證團隊、研究機構和工程實驗室的理想工具。它的可配置性和多功能功能能夠準確評估和優化流程開發周期。它可以同時執行物理和電氣特性測量,從而使用戶能夠快速開發和完善其工藝參數。該軟件包使數據收集和分析變得簡單、高效,有助於實驗的高效執行。
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