二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 1600 #139297 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 1600是一種晶圓計量和測試設備，非常適合精確和精確的表面計量測量。VEECO DEKTAK 1600結合了先進的成像、運動系統和軟件算法，對半導體晶圓進行高分辨率的3D表面測量。它設計用於自動晶圓級粗糙度、平坦度和步高分析，以滿足先進半導體應用的嚴格要求。SLOAN DEKTAK 1600具有精密光學系統與閉環運動技術相匹配的最高精度。這包括用於線掃描、掃描點測量和區域掃描功能的集成成像單元。它還具有自動卡盤處理機，在掃描多個晶圓站點時確保對準精度和可重復性。該工具采用3軸電動級設計,可進行高達20 μ m高的單步測量,最佳可重復性為0.1 nm。DEKTAK 1600能夠測量標準、非標準和軟材料等廣泛的應用和材料。VEECO/SLOAN DEKTAK 1600設計有兩種操作模式。掃描模式用於快速測量晶片表面,以檢測晶片顛簸和步進。校準模式是為精確測量而設計的,因為它允許用戶設置特定的激光功率水平、速度、磁場大小和焦點深度。用戶可以輸入許多測量參數,包括集成時間、數據級別、曝光時間、增益和偏移量,以實現高度精確的10-45 μ m分辨率測量。VEECO DEKTAK 1600具有高級軟件算法,用於測量、分析和映射表面數據,以實現更快的過程控制。它包括一個基於Web的圖形用戶界面（GUI）和自動晶圓級報告,以便能夠更快地進行流程分析和故障排除。資產的自動化數據采集和分析也消除了手動測量錯誤。SLOAN DEKTAK 1600因不需要氣體、真空、液體或機床而設計用於清潔室級別的環境。該模型與大多數行業標準實驗室和清潔室自動化系統兼容,並通過以太網連接直接連接到PC和數據存檔。它需要最低限度的預防性維護,並具有緊湊的工廠集成設計。