二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #293681691 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3是一種晶圓測試和計量設備，用於測量薄平面晶圓的厚度和地形。由VEECO Instruments和SLOAN Technology開發，VEECO DEKTAK 3系統是一種強大、可靠、精確的集成電路（IC）和晶圓制造工藝工具。SLOAN DEKTAK 3專為IC的制造而設計,為晶圓計量提供了卓越的精度,使其可用於各種應用,包括層厚度測量、晶圓表面輪廓分析和叠加對準。獲得專利的電容調制剖面圖（CMP）單元使用安裝在觸控筆上的精密傳感器來精確測量晶圓地形，並生成晶圓的三維剖面圖。DEKTAK 3還通過AutoFocus TM功能提供精確的厚度測量,該功能使用可移動目標機（MOS）和AlphaLight激光剖面儀進行聚焦和可重復測量。AlphaLight激光器測量地形上的小偏差，在整個晶片上重復，以進行更精確的厚度測量。VEECO/SLOAN DEKTAK 3還有一個維護模式，在不使用時自動為工具斷電，以節省能源和增加資產壽命。此外,該模型允許多個用戶定義的配置,從而使用戶能夠為特定應用程序自定義設備的功能。VEECO DEKTAK 3的設計旨在提供可靠、可重復和準確的晶圓測試和計量。它具有高度精確的傳感器和精確的聚焦控制,可以提供更好的邊緣清晰度,同時提供卓越的測量精度和可重復性。結合各種用戶友好的控制和功能，SLOAN DEKTAK 3是一種用途廣泛且可靠的工具，用於IC和晶圓制造過程。
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