二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9189408 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3是一種晶圓測試和計量設備，用於測量薄膜厚度、側壁角度、表面輪廓和掃描電子顯微鏡（SEM）。系統樣本大小範圍為2.5至6英寸（9.5厘米至15.2厘米）。VEECO DEKTAK 3采用金屬框架設計，頂側視口，集成低真空掃描電子顯微鏡（SEM）檢測器，自動跟高頭平臺。SLOAN DEKTAK 3使用自動控制進行樣本對準和測量,以及一個集成的遠程膠片測量單元,它可以在一次掃描中測量多達100個膠片。它還具有獨特的位置校正功能,可以根據樣品傾斜和掃描大小進行調整,以確保精確的測量。用戶還可以使用DEKTAK 3的成像機查看測量結果並修改掃描參數。VEECO/SLOAN DEKTAK 3使用獨特的微定位器，由壓電執行器驅動。這使得其測量具有極高的準確性；精度通常在1納米左右。VEECO DEKTAK 3還使用了專利的邊緣檢測工具，可以用來測量側壁角、粗糙的表面地形和薄膜厚度。此外，該資產還使用Barkhausen噪聲分析技術來評估表面附近的磁場。對於表面分析，SLOAN DEKTAK 3有一個內置的探測器模型，設計用於檢測掃描電子顯微鏡（SEM）中的隧道電流。設備還包括一個專用工作站，使用戶能夠實時控制所有設置和查看SEM的結果。對於高質量的膠片測量，DEKTAK 3還包括一個集成光學膠片厚度監視器（IFTM），這是設計用於分析膠片在反射和傳輸。IFTM使用光學系統來測量精確到1-2納米的薄膜厚度。最後,VEECO/SLOAN DEKTAK 3配備了自動數據采集單元,可以捕獲從機器所有組件記錄的讀出數據。此工具用於確保正確捕獲和記錄機器人獲取的所有數據,以便稍後進行分析,以更好地了解資產的整體性能。VEECO DEKTAK 3是一個高度先進的晶圓測試和計量模型，提供具有獨特軟件功能的精確測量。對於需要精確測量以及自動數據采集和分析的行業來說,這是一個理想的選擇。