二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9192441 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3系統是晶圓測試和計量的通用平臺。VEECO DEKTAK 3采用創新設計,具有堅固的觸摸和感覺功能,采用一流的工程設計,為測量表面地形和粗糙度提供了持久可靠的工具。該系統具有集成工作站、內置顯微鏡和可編程或手動控制站等功能。它靈活的設計讓它可以處理各種晶圓尺寸,直徑從2到12英寸不等。為了提高精度,SLOAN DEKTAK 3配備了微定位級和集成編碼器,使其能夠提供精確的測量。這種先進的階段技術允許亞微米分辨率。它還包括用於輪廓測量的數字圖像相關器和顯示薄膜厚度的模擬讀數。DEKTAK 3的集成工作站具有強大的微處理器和軟件包。這包括Vector Profile等軟件工具,它允許獲取動態範圍為20 nm至50 μ m的30萬個數據點。該軟件還能夠進行高級圖形輸出,以測量滑移變形和路徑角非均勻性等高級參數。此外,VEECO/SLOAN DEKTAK 3還集成了用於表面輪廓測量和淺浮雕測量的分析軟件,以及輪廓分析和基本繪圖工具。為了提高可靠性,VEECO DEKTAK 3有內置的溫度補償、漂移校正和微旋轉階段。它還具有集成的光束偏轉,有助於確保一致的探針覆蓋範圍和尺寸測量精度。該系統還具有開槽功能,可以快速、方便地識別模式。SLOAN DEKTAK 3是晶圓測試和計量的理想平臺。其用戶友好的技術和精確的測量能力使其非常適合任何需要高精度測量的研究或工業應用。
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