二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 ST #9383773 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 ST是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體材料的精確表征。該系統能夠以納米級精度對半導體晶片進行非接觸三維測量。VEECO 3030ST單元利用無溶劑的金剛石尖尖觸控筆探針，可以對廣泛的表面拓撲和特征進行可靠的測量。SLOAN DEKTAK 3030ST采用XYZ掃描頭設計,可用於晶圓曲面的3D映射和表征。掃描頭配備了納米操作尖端補償算法，通過確保在整個測量表面範圍內保持恒定的尖端表面接觸，提高晶圓計量的精度。3030ST使用閉環掃描機,允許以高達10毫米/秒的速度進行快速、高精度的測量。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030ST具有許多內置功能,使其成為各種應用程序的可靠計量工具。其中包括用於亞納米表面計量的激光幹涉儀、用於檢測和分析晶圓表面缺陷的背面照明資產，以及用於自動晶圓裝卸的全機化級。其他功能包括用於測量接觸力的壓力調節器和應變儀組件、用於確保掃描過程中穩定性的空氣承載臺,以及可調節的合規頭懸架以減少振動。VEECO DEKTAK 3030 ST型號符合多項行業協議和標準。這包括用於高精度薄膜測量的G46、E14和MM17,以及用於分析背面缺陷的FOB和BEETEK。該設備還符合Wyko晶圓映射軟件，允許用戶以各種圖形格式分析映射數據。SLOAN 3030ST是一個高效、可靠的晶圓測試和計量系統,專為各種測量和分析協議而設計。這個單元配備了眾多的功能，允許用戶以納米級的精度和精確度來分析晶圓表面。DEKTAK 3030 ST符合各種行業標準,使用戶能夠訪問用於數據處理和分析的一整套軟件工具。