二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293600243 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一種先進的晶圓測試和計量設備，用於測量晶圓表面平面度、薄膜厚度和其他臨界晶圓參數。作為技術先進的測試和計量系統，VEECO DEKTAK 3030為廣泛的參數提供高精度的結果，包括薄膜厚度、表面反射率、光譜發射、表面粗糙度和地形。DEKTAK單元基於允許多種配置的模塊化設計。它由一個x-y級、一個z軸運動模塊、一個樣本接口模塊和一個z軸樣本操作模塊組成。X-y級為兩軸高速精密級，分辨率高達12微英寸，精度為16至100納米。這個階段是由一個微米控制的驅動機器，提供平滑的性能和巨大的負載能力驅動。Z軸運動模組由鐵流體密封滑軌構成，可以以10秒弧度為增量移動。此模塊允許在三個維度上進行樣品處理,從而提高了刀具的測量精度。樣品接口模塊可與各種樣品持有者一起使用，便於樣品精確加載到SLOAN DEKTAK 3030上。它包括一個真空資產，允許處理不同大小和形狀的樣品。最後，z軸樣品操作模塊能夠在測試過程中精確控制樣品的位置。此模塊包括復雜的多軸線性執行器、力和扭矩傳感器以及軟啟動功能。DEKTAK 3030的測試能力包括範圍廣泛的晶圓參數，如薄膜厚度、表面反射率、光譜發射、表面粗糙度和地形。該模型能夠測量詳細的圖樣粗糙度剖面和孔隙間距以及總平均長距離粗糙度值。這樣可以驗證晶片的平整度和表面質量。此外,VEECO/SLOAN DEKTAK 3030還可以測量5至500 nm的薄膜厚度,以及塗層均勻性和光學薄膜厚度等薄膜性能。總體而言，VEECO DEKTAK 3030是用於晶圓和其他樣品測試和計量的通用且準確的設備。它的模塊化設計、高精度階段和樣品處理能力相結合，使其成為驗證晶圓平坦度和薄膜特性的強大工具。該系統為實驗室提供了一個可靠且經濟高效的晶圓測試和計量解決方案。