二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293815554 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一種晶圓測試和計量設備,旨在在各種高通量和時間關鍵環境中提供準確、可靠的結果。它利用精確、低強度的XYZ萬向節型探針和獲得專利的Autostop®垂直範圍,以及垂直和橫向掃描的組合來精確獲取廣泛的晶圓厚度和c方向數據。VEECO DEKTAK 3030系統可用於分析0.5至3.8微米平面度、粗糙度等特征的各種晶圓水平,並能檢測各種半導體材料的斜坡和缺陷。SLOAN DEKTAK 3030配備了一個集成視覺單元,能夠在短短兩分鐘內同時測量單個晶片上的兩個不同站點,如果手動執行,操作將需要幾分鐘。掃描速度和可編程分辨率等功能使DEKTAK 3030機器能夠根據應用程序和環境的特定需求進行定制。此外,該工具還利用Z-Control Asset™提高了速度、準確性和可重復性。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030型號的觸摸屏界面用於控制操作,並提供結果的實時圖形顯示。設備跟蹤任意數量的晶圓參數,顯示掃描晶圓的縮放圖像並創建三維模型。VEECO DEKTAK 3030系統還具有許多特定於應用程序的軟件功能,包括能力分析、高級工藝分析和審查、多項式過濾和平整/厚度剖面提取。SLOAN DEKTAK 3030旨在與專有和開放行業計量系統接口。它可用於分析單晶片和較大晶片批次,是高速晶片測試、計量和生產線過程中工藝表征和流量測量的絕佳選擇。對於先進的晶圓測量和分析,DEKTAK 3030單元是各種先進研究和生產應用的理想選擇。
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