二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9120561 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030晶圓測試和計量設備的設計目的是以最高效的吞吐量提供最高精度的測量結果。該系統自動化程度高，可靠，操作學習曲線短，適合任何半導體制造工藝。該單元是一個完全由計算機控制的表面輪廓監視器和厚度計單元，可以進行精確的3D表面分析和精確的跟蹤分析。它有一個可編程的電動掃描頭和一個可編程的控制器.它配備了高分辨率CCD相機，可以對晶圓表面進行直接光學測量，提供卓越的精度和精確度。VEECO DEKTAK 3030能夠對直徑不超過200毫米、厚度不超過2.5毫米的晶片進行輪廓測量。利用激光幹涉法、電容成像和直流光散射相結合，精確測量了晶圓指定標稱表面的表面輪廓、地形和輪廓偏差。它也可用於獲取基本輪廓參數（如曲率、步高等）上的可重復性測量值。SLOAN DEKTAK 3030非常適合各種半導體制造工藝，包括氧化物、植入物或擴散工藝。它能夠測量各種晶片上的表面輪廓，包括矽、砷化氙和其他合金材料。此外，DEKTAK 3030能夠以納米精度（1海裏）測量3 D表面地形，並提供0.01海裏的汙染檢測極限。除了VEECO/SLOAN DEKTAK 3030測量機的卓越精度和精確度外,該工具附帶的軟件還通過與過程控制圖表和可搜索結果存檔等統計分析功能集成,簡化了數據報告過程。該軟件還使您能夠遠程訪問測量數據,從而可以輕松地與其他用戶共享結果。VEECO DEKTAK 3030是大型生產作業和小型研發實驗室的理想資產。它全面的功能、精細的準確性和方便用戶的軟件使其成為評估晶圓測試和計量需求的寶貴工具。