二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9175618 待售
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單擊可縮放
ID: 9175618
晶圓大小: 6"
Stylus profiler, 6"
Step height measurement range:
Maximum: 100 kÅ
Minimum: 1310 Å
Radius: 12.50 Micron
Controller type: Microprocessor controller
Measuring range: 100Å to 1310kÅ
Scan speed range: Low, medium, high
Vertical resolution:
1Å In the 65kÅ range
10Å In the 655kÅ range
20Å In the 1310kÅ range
Data points per micron: 0.04 - 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 Point programmable or cursor leveling
Stylus: 12.5 Micron, diamond
Maximum sample thickness: 1.75"
Sample stage diameter: 7"
Sample stage translation:
Manual:
X Axis: 6"
Y Axis: 3"
Zoom range: 35x-200x
Power requirements:
110 / 120 V
50 / 60 HZ
1 Phase
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是第四代晶圓測試和計量系統，設計用於半導體制造設施的質量控制。該裝置配備了一個3D非接觸觸控筆探針，能夠剖析晶圓表面特征的大小和形狀，同時也測量這些特征的高度或深度。VEECO DEKTAK 3030配備了可容納最大8英寸直徑晶圓的級，以及提供雙穿梭設計的快速基板交換。SLOAN DEKTAK 3030的非接觸手寫筆可以在晶片表面移動,精度為0.0003英寸,同時使用戶能夠自動識別任何不在預定公差範圍內的設計特征。該單元具有直觀的菜單驅動軟件界面，易於操作和快速設置。軟件還支持圖形數據叠加，為用戶提供對配置文件數據的增強可見性。此外,DEKTAK 3030可存儲多達1,000個樣本配置文件和多達99個測量配方,用於特定於晶圓類型的故障管理。該單元配備了許多附加功能，如隔振以減少樣品表噪聲，機械預先對準使用紙帶孔或基準來定位晶圓，以及保證低摩擦運動的高效空氣軸承。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030具有典型的速度和精確度,是專門用於晶圓測試和計量的可靠、經濟且精確的解決方案。
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