二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9245279 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是由VEECO Corporation開發的自動化、精密晶圓測試和計量設備。VEECO DEKTAK 3030系列提供了對超薄膜、臨界尺寸和多層結構的精確測量。SLOAN DEKTAK 3030系列的精確度為近埃分辨率,測量範圍可達30毫米,是開發微機電系統和納米技術的寶貴工具。DEKTAK 3030由控制器、驅動系統、晶圓探頭和級組成。控制器是一個基於微處理器的單元，提供直觀的圖形用戶界面（GUI），用於訪問、控制和顯示進程參數。驅動機器由一系列線性和旋轉電動機組成，可提供精確的運動控制、穩定性和可重復性。晶圓探頭利用電容和激光技術在接觸或非接觸模式下監測和測量樣品的表面特性。舞臺工具使用機械電動機、壓電電動機和語音線圈電動機,提供可編程的樣本掃描和遍歷功能。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030系列的主要應用是測量晶片的表面粗糙度、應力和厚度，以及圖樣特征的臨界尺寸（CD）和微電子元件的位置。該資產非常精確,粗糙度和CD測量的重復性小於0.2埃（A）,深度測量的重復性小於0.5 A。VEECO DEKTAK 3030系列提供多種自動化計量工具，以滿足IC、MEMS和納米級器件評估的復雜要求。它提供了各種掃描策略，以便於校準和定位測試模式。優化了模型體系結構,以促進可擴展性、準確性和靈活性。它支持實時數據監控和數據記錄自動化操作。可升級的嵌入式軟件使設備功能易於編程。該系統支持高分辨率成像、測量速度和精度、非接觸模式、非接觸式電容傳感以及可選的集成AFM（原子力顯微鏡）和STM（掃描隧道顯微鏡）等功能。總體而言,SLOAN DEKTAK 3030系列是一個高級計量單元,可為各種應用程序提供高精度和靈活性。通過提供全面可靠的晶圓測試和計量，機器顯著減少了產品開發時間和成本，確保了高度的精度和可重復性。