二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #293817112 待售
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ID: 293817112
優質的: 1992
Surface profiler
Z resolution: 10 nm
X/Y resolution: 0.2 µm
Application: step height measurement (~2 µm deep, <8 µm wide)
Tip angle: 60°
1992 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一種先進的晶圓測試和計量設備,利用最新的先進光學成像技術來測量和分析半導體晶圓和其他微觀結構。VEECO DEKTAK 3ST提供了一個模塊化平臺,允許用戶根據自己的需求和應用定制系統。SLOAN DEKTAK 3 ST利用高精度光學和觸覺探測技術以及原位元材料成像能力相結合,產生詳細的晶圓測試結果。高精度光學探測技術測量細胞、分析物和斑點的三維(3D)形狀。光學探針的精細控制使使用者可以精確地測量甚至最微小的圖案和細節。這使得能夠對每個半導體晶圓或微觀結構上的多個結構進行快速、高度精確和可重現的測量。光學探頭的精細控制也不需要手動的輪廓校正或修改。VEECO DEKTAK 3 ST采用x/y/z掃描技術,能夠掃描各種基板,如藍寶石基板、金屬和聚合物,分辨率和準確性都很高。SLOAN DEKTAK 3ST還提供測量半導體晶片電阻率的能力。這與原位元材料成像能力相結合,為用戶提供了半導體晶片和其他微觀結構的完整表征和生產分析。VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST是一個用戶友好的單元,具有圖形化的用戶界面,允許用戶為其特定的應用程序輕松配置機器。用戶友好界面允許同時分析多個晶片,也可用於測量測試特征和檢查生產過程中的不規則性。總體而言,DEKTAK 3ST是一種先進的晶圓測試和計量工具,使用戶能夠快速準確地分析各種半導體晶圓和微結構。DEKTAK 3 ST結合了高精度光學探測、原位元材料成像和x/y/z掃描功能,為用戶提供了通用的表征和生產分析功能。用戶友好的圖形用戶界面允許輕松配置和操作,使VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST任何半導體或微結構應用的寶貴補充。
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