二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9105734 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓的精密分析。該自動化系統在制造過程中對半導體晶片的關鍵尺寸進行精確的三維測量。通過使用獲得專利的高分辨率可變電容換能器，VEECO DEKTAK 3ST可以測量低至1nm的尺寸，標準精度範圍為2-10 nm。換能器也非常靈活，可以用在多種材料上，包括多種類型的金屬、陶瓷和介電材料。該設備設計用於單面或雙面測試,具體取決於客戶的需求。它采用10英寸探頭平面龍門設計,載荷角度± 90°,並具有手動和自動操作功能。用戶界面融合了直觀、易於理解的圖形顯示、格式、幫助屏幕和設備管理功能，使SLOAN DEKTAK 3 ST易於學習和使用。由X-Y級移動的樣品支架，在定位標本時允許靈活性，進一步提升用戶體驗。為提高測量精度，VEECO DEKTAK 3 ST還具有低共振噪聲、優異的隔振性能和溫度穩定性。這也有助於減少來自不同環境條件的扭曲。此外,VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST還包括Stylus Patrameter機器,用於測量刀具的軌道對齊方式並補償任何錯誤。「小特征分析」（Small Feature Analysis） SFA-10可以測量高長寬比、通孔和其他從0.1 μ m開始的特征,資產進一步提高了精度。最後,該模型還提供了SEM傳輸選項,使樣品從SLOAN DEKTAK 3ST傳輸到掃描電子顯微鏡（SEM）。總體而言，DEKTAK 3ST是對各種材料的臨界尺寸進行3維測量的理想選擇，精度為2-10納米。該設備具有多種功能,如Stylus Patrameter系統、Small Feature Analysis （SFA-10）和SEM傳輸選項,可讓用戶最大限度地控制測量和精度。DEKTAK 3 ST具有易於使用的直觀菜單、用於定位的X-Y級和出色的隔振功能,是精密半導體工作人員的理想測試和計量單元。