二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9157734 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一種功能強大的晶圓測試和計量設備,它利用最新的技術和技術為各種材料和基材提供先進的計量能力。該系統在廣泛的參數中具有卓越的性能,包括卓越的精度和可重復性,非常適合各種晶圓測試和計量應用。VEECO DEKTAK 3ST由垂直行程範圍為3mm的XY精密定位級和非磁性步進電機驅動的壓電驅動執行器以及單軸手寫筆力傳感器組成。定制設計的執行器提供精度為0.25 µm的精確高度測量，響應時間為0.45ms，最小步長為3 nm。此外,力傳感器的靈敏度為0.1 mN,範圍高達10 mN。SLOAN DEKTAK 3 ST還包括內置5倍亮場和暗場成像能力的集成光學顯微鏡。這允許用戶精確檢查晶圓特性和特性。顯微鏡的光學單元提供了出色的對比度和圖像清晰度,其集成軟件提供了對所有測量的直觀控制,以及強大的數據存儲和查看能力。SLOAN DEKTAK 3ST的非接觸式計量能力使得能夠直接測量各種晶圓材料的電阻率、階梯高度和地形。機器在手動模式下運行，其中參數由用戶定義，或者在自動模式下運行，在這種模式下，工具被編程為根據預定義的測試條件進行測量。自動化模式利用閉環控制，在各種環境或基板條件下保持測量重復。VEECO DEKTAK 3 ST還具有高級數據處理、動態模式識別、多媒體數據輸出等多種其他尖端特性和功能。利用這些功能,VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST非常適合各種應用,從電氣、微機械和光電器件的表征,到故障排除、缺陷檢測和故障分析。綜上所述，DEKTAK 3 ST是一項傑出的晶圓測試和計量資產，它為各種不同的材料和基材提供了高精度和可重復性。它具有先進的光學顯微鏡、強大的力傳感器、集成的計量能力以及復雜的數據處理和多媒體輸出。所有這些功能使DEKTAK 3ST成為各種應用程序的理想模型。