二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9192102 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一種先進的晶圓測試和計量設備,具有沈浸式技術特性,可提供晶圓分析的精確度和準確性。它具有廣泛的高級測量功能,可用於高級晶圓測試和計量應用。從硬件開始,VEECO DEKTAK 3ST采用行業標準的VEECO高分辨率電容位移量規,以實現精度和精確度。它采用模塊化平臺設計,包括用於樣品移動的高精度、高精度電動Z級。量規頭和Z級連接到由強大的圖形用戶界面管理的量規控制器。SLOAN DEKTAK 3 ST還具有先進的測量功能,如自動特征識別和快速掃描速度,以實現準確的特征描述。它能夠檢測臺階高度低至10nm的地形，具有極好的線性和動態範圍。系統獲得專利的高級端點檢測（Advanced Endpoint Detection, AED）技術可在每個掃描會話的端點準確定位樣本形狀。DEKTAK 3 ST還提供增強的Z軸校準精度，確保更一致和可靠的測試結果。該單元還根據應用程序的需要提供各種選項。它提供高分辨率的光學和掃描聲學顯微鏡功能,非常適合先進的設備表征、3D表面測量和缺陷分析。它還具有低振動隔離功能,可提供高性能數據穩定性。在軟件方面,VEECO DEKTAK 3 ST具有一整套軟件實用程序,可提供分析、數據存儲和報告功能。軟件包括3 D成像、自動晶片映射縫合、自動模式識別以及利用機器強大硬件的缺陷分析程序。該工具能夠分析晶圓步高、表面地形和均勻性、薄膜應力、灰塵粒度等特性。該軟件還包括用於記錄測試結果的數據存儲和報告工具。總體而言，DEKTAK 3ST是一種先進的晶圓測試和計量資產，提供對晶圓的精確分析。它具有高分辨率的量具頭、電動Z級和用於數據存儲、分析和報告的綜合軟件套件。VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST是高性能應用程序的寶貴資產,需要可靠的數據和設備幾何形狀的精確表征。