二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9351652 待售
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ID: 9351652
Wafer surface profiler
Pentium III computer
PANASONIC Colored camera
LCD Monitor, 17"
DEKTAK Hot keys and mouse
HP Printer
Keyboard
Stylus: 2.5 µm
Power supply control box.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一個基準晶圓測試和計量系統。它是一種通用的高精度儀器，設計用於測量晶圓制造過程中的各種半導體參數。該3ST常用於晶圓的臨界采樣和統計分析。該儀器的特點是集成晶圓處理和自動盒式到盒式轉運器，使晶圓測試、表征和計量過程能夠快速而精確。3ST還配備了直觀的圖形界面，方便儀器導航，以及實時測試結果和數據可視化。該3ST采用專利的「垂直表面剖面儀」進行精密晶圓表面掃描。這款高速、高精度掃描儀的工作波長為10 μ m,掃描速度高達500 μ m/s。掃描頭能夠以高分辨率收集數千個數據點,從而使用戶能夠捕獲範圍廣泛的任何晶圓表面的精細細節。3ST的專有計量軟件提供了全面的結果分析，使用戶能夠快速準確地識別出不符合標準的晶片。其先進的過濾和綁定功能還為用戶提供了調整噪聲和幹擾以分析真實結果的靈活性。該3ST能夠執行多種類型的晶圓測量,如輪廓、粗糙度、表面高度、厚度、缺陷和汙染、網絡廣播、孔大小、孔形狀等。該系統還可以在溫度控制、濕度控制和/或振動隔離的環境中操作，以確保準確的結果。總體而言，VEECO DEKTAK 3ST是一個先進的、易於使用的晶圓測試和計量系統，提供高度準確的結果，給用戶生產高質量半導體所需要的信心。
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