二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293633019 待售
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已售出
ID: 293633019
Surface profiler
Stylus: 2.5 µm
Environmental enclosure
PC with accessories
Manual
Power supply.
VEECO/SLOAN DEKTAK 6M是一種晶圓測試和計量設備,設計用於以精確和速度測量半導體晶圓的表面特性。它在半導體工業中被廣泛用於評估制造器件的質量。該系統由一個可以以三個自由度移動的五軸級組成。該級能夠移動直徑達6英寸的晶片,並在各種測量探頭和單元的級之間運輸它們。該機還具有先進的電機控制和定位系統,以實現一致和可重復的運動以及對晶圓運動的精確控制。VEECO DEKTAK 6M配備了先進的光學和掃描探針技術,用於快速準確的測試。該工具利用激光幹涉儀對晶圓進行非接觸表面高度測量,測量精度在幾納米以內。該資產還可以配備掃描探針,用於進行電氣測量和短路測試並打開。該模型包括用於控制設備運行以及進行、記錄和分析測量的強大軟件。它允許各種可定制的測試配方和數據分析選項,包括趨勢分析和警報。SLOAN DEKTAK 6M的設計采用了符合人體工程學的用戶界面,用戶可以快速直觀地控制系統。該單元具有廣泛的安全功能,以確保用戶安全。總體而言,DEKTAK 6M是一種高度先進的晶圓測試和計量機器,旨在提供對半導體晶圓表面特性的快速準確的測量。該工具廣泛應用於半導體行業,其強大直觀的用戶界面、先進的電機控制和定位系統以及強大的軟件使其成為質量控制和過程監控的寶貴工具。
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