二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293639493 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 6M是一種先進的晶片測試和計量設備，設計用於精確測量矽片上的特征，並提供對多種材料的檢查、成像和分析。該系統基於精確的空氣軸承平臺，包括精密的精細激光幹涉儀位置編碼器以及自動視覺對準單元和多軸真空卡盤。VEECO DEKTAK 6M允許精確的X軸、Y軸和z軸位移,並且能夠精確自動對焦和極其精確的步進和重復對準。它還為多個小二維特征提供高精度測量數據,包括表面高度、平坦度、步長、線寬和螺距測量。該機具有減少操作員占用空間、提高晶圓測量的吞吐量和準確性以及減少手動校準工作的能力。SLOAN DEKTAK 6M提供高速、超精確的非接觸式計量。它專為高精度、重復性和快速吞吐量而設計,能夠測量多種特性,如墊板、線寬、螺距和步高。該工具使用聚焦激光光源和檢測器組件來測量晶片邊緣和特征輪廓之間的距離。資產可以以各種比例檢測單個特征，即使在最小尺寸為3x2.5微米的情況下也是精確晶圓測試的理想選擇。DEKTAK 6M還擁有多種集成功能,如自動模式和特征識別、自動校準、自動車牌對準和對準、自動高度調整控制以及絕對和差分角度測量。該模型還具有先進的圖像匹配算法，用於特征定位和參數分析能力的綜合光學計量和檢測。為確保準確和穩定運行,VEECO/SLOAN DEKTAK 6M配備了高級軟件控制,包括高級菜單驅動軟件,其中包含晶圓測量指令和自動測量的綜合數據庫。全面的數據庫和自動化的指令確保設備以一致的準確性和可重復性執行。VEECO DEKTAK 6M還具有3-D檢查功能，可以分析地形和缺陷大小、形狀和粗糙度。總之，SLOAN DEKTAK 6M是一種先進的晶圓測試和計量系統，旨在提供精確、可重復和高精度的測量。其先進的菜單驅動軟件、自動檢查和註冊功能以及自動晶圓測量指令,使其成為各種晶圓測試、成像和計量任務的理想選擇。