二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293646046 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 6M是一種晶圓測試和計量設備，用於半導體行業測量半導體基板上的薄膜層。該系統用於對金屬、氧化物、矽和電介質等材料的薄膜層進行精確測量。該單元由電動級、導電晶片載波、激光基光投影機、電容基測量工具組成。電動級用於精確定位晶片進行測量。該級的速度是可調的，以適應不同類型的基板，這使得它非常適合在半導體行業的多個應用。利用晶片載波牢固地固定晶片進行測量，利用激光投影資產精確測量薄膜層。光投影模型由激光和位置敏感檢測器（PSD）陣列組成,可精確測量距離、形狀和邊緣幾何形狀。設備還包括電容表，用於測量小至15納米的薄膜層。電容表利用一對電極板檢測被測樣品上薄膜層寬度的差異導致的電容變化。此外,該系統還配備了一個集成的軟件套件,能夠對測量結果進行實時繪圖、報告和數據分析。VEECO DEKTAK 6M的設計可以承受惡劣的條件並提供精確的測量結果，即使在高壓高溫環境中也是如此。此外,該設備可以在單個機器中處理多達12個工藝步驟,使其成為大容量半導體制造的理想解決方案。此外，該工具可以測量晶片基板的鏡片直徑可達125mm。總體而言，SLOAN DEKTAK 6M是一種功能強大的晶圓測試和計量資產，能夠快速準確地測量薄膜層，使其成為半導體制造的理想解決方案。它的精確度、準確性和多功能性使其成為業界的寶貴工具,並使制造商能夠提供市場上最高質量的產品。