二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9006097 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 6M晶片測試和計量設備是測試和測量半導體和其他薄膜表面質量的有力而有效的方法。這套系統使用先進的石英晶體天平,以0.0668 µm(0.000261 in)的分辨率測量步驟高度、地形、二維表面輪廓以及樣品上的特定缺陷位置。高分辨率測量是通過專利電容橋式石英晶體天平實現的,能夠實現非常低的噪聲輸出和高靈敏度以及優異的重復性和長期穩定性。該裝置的可調測量範圍可達10毫米(0.394英寸),並具有適合大多數實驗室設置的小占地面積。它還包括一個集成的隔振器,以降低噪音水平和確保準確的測量。石英晶體平衡是由設計用來承受高溫和環境應力而不降解晶體結構的材料構成的,額定測量溫度可達1600 °C (2912 °F)。該機器配備了高分辨率的圖形液晶觸摸屏,便於設置和導航,以便快速進行測量和記錄數據。VEECO DEKTAK 6M可用於在其內部內存中最多存儲五個參數,並配備USB端口連接到用於數據存儲、分析和報告的工具。此外,幹燥空氣凈化資產可用於減少高溫過程中的腐蝕。該模型設計用於各種晶圓計量和測試應用,包括薄膜厚度測量、表面粗糙度、缺陷識別和成分分析。此外,該設備可用於研究晶片的電氣特性及其內置的電氣測量特性。所有測量參數都可以通過SLOAN DEKTAK 6M軟件進行管理,並可以各種文件格式導出。這個功能廣泛、功能強大的系統對於任何需要精確、可重復晶圓測試和計量的實驗室來說都是一個巨大的財富。
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