二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9105277 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 6M是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量半導體晶圓上的表面和薄膜。該系統提供掃描隧道顯微鏡（STM）和原子力顯微鏡（AFM）技術的組合，提供半導體晶片的深度表面表征。它能夠產生具有納米級分辨率的晶圓表面的三維地形圖。VEECO DEKTAK 6M單元主要設計用於半導體生產過程控制。該機可用於在生產過程中精確測量和監測半導體層厚度。這允許分析關鍵的過程控制步驟,並確保產品質量符合客戶要求。該工具也非常適合在生產過程中創建質量指標和文檔標準。SLOAN DEKTAK 6M資產還能夠監控階梯高度、平坦度和地形等晶圓參數。其測量範圍包括丁基光刻、合金厚度、電阻率、層間介電等多種半導體參數。模型得到的測量數據可用於評估半導體層的均勻性和過程控制。DEKTAK 6M設備集成了多種功能,可確保準確可靠的數據收集和分析。它包括一個機動化的精密級，允許晶圓表面的精密運動和定位。該系統還與一個可編程的教學單元集成在一起，這一單元能夠有效運作，並自動進行基於頻率的數據收集以進行表面分析。對於非接觸式數據收集，該機還有一個配備發射陣列和激光掃描工具的半導體模塊。VEECO/SLOAN DEKTAK 6M資產與一系列軟件應用程序兼容，包括VEECO WaferPro Software，它提供了強大的數據管理和分析工具。此軟件專為便於數據處理而設計,可創建STM或AFM數據的2D或3D繪圖。它還提供各種可視化工具，如橫截面和統計繪圖，以便進行深入分析。為確保最大性能,該模型配備了環境監測設備,可調節測試環境中的溫度和濕度。這確保了整個過程中的穩定測量。VEECO DEKTAK 6M是半導體生產中晶圓測試和計量的集成計量解決方案。它提供了掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡技術相結合的半導體晶片的精確表面表征。它還提供了可靠和強大的功能,如精確的電動階段、可編程的教學系統,以及用於高效數據管理和分析的綜合軟件套件。