二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9234670 待售

VEECO / SLOAN DEKTAK 8
ID: 9234670
Advanced Development Profiler (ADP).
VEECO/SLOAN DEKTAK 8是一種自動化晶片測試和計量儀器,用於測量半導體晶片的厚度、平坦度、弓/經度、表面粗糙度和缺陷密度等臨界參數。它具有集成的雙光頭設計、具有雙變速的精密編碼器設備以及用於自動晶圓處理、定位和掃描的CompactHandler II。VEECO DEKTAK 8提供了高精度和可重復的測量,這要歸功於一種創新的邊緣檢測和信號返回算法,適應不斷變化的晶圓特性。該系統還具有基於參考點的自動晶圓掃描功能,允許用戶在參考點上定義掃描區域。在平坦度/經度測量方面,SLOAN DEKTAK 8采用了最先進的二維激光位移傳感器,能夠測量晶圓很小的厚度變化。它還具有利用高端階段的穩定性和可重復性的能力,允許極其精確的測量。DEKTAK 8還配備了一個電動級,用於移動光頭內部的晶圓表面,用於測量表面粗糙度。該單元能夠檢測、測量和分析亞微米級的表面缺陷。在缺陷檢測方面,VEECO/SLOAN DEKTAK 8配備了高分辨率CCD攝像頭加上計算機控制的自動對焦接口,可實現自動成像、缺陷識別、分析和準確的高度確定。該機器還具有自動缺陷分類和缺陷數據庫查詢功能。此外,VEECO DEKTAK 8設計為潔凈室使用,使用特別設計的環境室以減少粒子產生,並提供最大限度的免受汙染物的保護。該工具還包括氣動設備,用於在測試過程中保持動態氣氛。SLOAN DEKTAK 8提供了一套廣泛的軟件應用程序,用於控制模型和數據分析。這些應用包括自動校準、數據記錄、晶圓映射、缺陷檢測和報告等等。該儀器還提供了廣泛的用戶定義參數選擇,這些參數可用於根據設備的特定要求定制每個測試。總體而言,DEKTAK 8是一種極其精密的高端晶圓測試和計量設備,為半導體晶圓測量提供了最高的精度和可重復性。集成的硬件、先進的軟件以及優越的環保,使得VEECO/SLOAN DEKTAK 8成為現代半導體制造的完美選擇。
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