二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9244494 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 8是一種高精度晶圓測試和計量設備，在晶圓級幾何的確定和表征方面提供了卓越的精度和重復性。該系統允許精確測量各種晶圓參數，如表面地形、步高、電阻率、摻雜、汙染和熱/機械性能。VEECO DEKTAK 8是一種變力探頭單元，使用安裝在兩軸傾斜平臺上的多傳感器晶體力傳感器尖端。它可以測量樣品表面的俯仰和側傾角度以及Z高度測量，並配有高端PC和數據采集軟件以實現數據捕獲和分析。機器包含一個光學字符識別，可以輕松處理晶圓上的文字印記，以協助確定樣品的來源和取向。SLOAN DEKTAK 8提供先進的3D成像技術,用於精確的表面剖析。它具有5.2nm的2D高度輪廓分辨率和電阻率測量的5.0mV分辨率。該刀具可測量大至200毫米的尺寸，工作面積為100 x 45mm。包括一個空氣軸承，允許優越的噪音和減振。為長期運行而設計，導軌與探頭之間有高溫陶瓷絕緣層。DEKTAK 8設計堅固可靠，長期精度等級為0.15 nm，可重復性高達0.05 nm。它具有卓越的性能和特點，非常適合先進的晶圓測試和表征。