二手 VEECO / SLOAN DEKTAK I #9018953 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK I是一種晶圓測試和計量設備，設計用於廣泛的半導體過程控制需求。該系統配有經過精確測試的測量機構,可在-35至350°C的溫度範圍內操作。VEECO DEKTAK I晶圓測試設備有兩個手柄、兩個可調真空卡舌和兩個級高度選擇器的工作臺。真空標簽允許樣品晶片的直接接觸和操作。真空片的配置可以根據需要輕松調整，允許各種不同高度和大小的晶片。SLOAN DEKTAK I提供了全系列的光學晶片表面映射,其傾斜和平面測量值可達± 5.0°,步長分辨率為1 nm。這樣就能夠以高分辨率捕獲最高精度的曲面圖像,以實現最佳的過程控制。DEKTAK I還具有集成的自動化接口,能夠與表面計量儀器集成,如刮刮筆、XY掃描儀和視頻顯微鏡。例如,Scratch Pen可用於表面檢測和表征,而Video Microscope可用於微缺陷檢查。該單元包括一個低接觸力的高精度樣品支架，其設計目的是在提供樣品保護的同時最大化機器的熱均勻性。VEECO/SLOAN DEKTAK I還包括一個獨特的Focus Tip，它允許調整晶圓表面圖的焦點。VEECO DEKTAK I晶圓測試和計量工具還配備了一個專有軟件包，用於控制資產的所有操作，如索引和縮放、編程和測試、錯誤分析和報告，以及生成和管理統計數據。總之，SLOAN DEKTAK I是晶圓測試和計量的一個高度精確和可靠的模型，它提供了多種功能，以確保在不同範圍的半導體過程中的最終精度和準確性。