二手 VEECO / SLOAN DEKTAK II #78838 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK II是半導體行業一流的晶圓測試和計量設備。它是用於半導體器件表征和工藝優化的最先進的高性能工具。VEECO DEKTAK II利用獨特的光學地形和機械偏轉測量系統，在晶圓和其他基板上創建亞微米剖面。SLOAN DEKTAK II有一個集成的軟件單元，允許用戶快速準確地測量表面粗糙度、表面高度和其他晶圓/基板參數。DEKTAK II采用低電樞質量的直線電機輪廓工具和帶有集成幹涉儀的加固液冷級。利用這臺機器，電樞的運動是自我優化的，刀具可以獲得0.0001英寸（2.5微米）精度的無單位精度測量。這種性能適用於所有半導體加工表面，包括電介質、金屬、多晶矽和金屬對電介質。板載掃描控制、分析和路徑規劃（SCAP）軟件包允許使用多種繪圖類型和統計報告進行詳細的掃描路徑規劃,從而節省了時間和金錢。SCAP可用於集成自動測試和測量例程。軟件還支持在一個會話中與所提供的樣本持有者配置多個基板的功能。此外，VEECO/SLOAN DEKTAK II利用多光源成像資產和全畫幅高分辨率數碼相機。此成像模型用於提供整個基板的可視快照。使用基板的漫射投影，用戶不僅可以快速確定基板特性，還可以識別任何非均勻性或缺陷。VEECO DEKTAK II通過功能齊全的圖形用戶界面設計為用戶友好。其高精度的測量能力和成像設備使其成為優化半導體制造行業關鍵工藝的完美工具。VEECO繼續以技術先進的特性更新其產品，例如其集成的高壓/高溫（HPHT）能力，允許晶片在極端條件下進行處理。SLOAN DEKTAK II具有精確度、通用性和可靠性,是開發和優化關鍵半導體制造工藝的理想系統。