二手 VEECO / SLOAN DEKTAK II #9061099 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK II是一種晶圓測試和計量設備，用於半導體行業的各種應用。它使用自動掃描或高分辨率成像技術來測量半導體晶片的特征，包括線寬、脊柱高度和蝕刻深度等物理特征。該系統能夠通過二維剖面數據采集自動測量晶片的表面地形。它還可以測量表面粗糙度、反射率和附著力等表面物理性質。該單元利用光學和電氣探針的組合來測量晶片的電參量，如電阻、電容和電流泄漏。手寫筆類型剖面儀用於檢測顛簸、山脊和山谷的位置。手寫筆能夠測量高達5微米的特征和高度，分辨率為0.1微米。它配備了接觸力顯微鏡，能夠測量高達0.1納米的特征。機器還可以測量晶圓表面的平整度、平面度和不均勻度。利用CCD攝像機和改進的散光光束輪廓檢測器對晶片表面進行成像，以測量形狀偏角、步長和斜率精度等其他參數。CCD相機用高精度傳感器進行校準和監控。該工具還能夠通過測量蝕刻、沈積、清潔、拋光和摻雜技術的效果來測試各種生產工藝。它還提供了在高溫（最高250C）和真空環境下進行測試的能力。用戶可以從各種線條樣式中進行選擇,從直線和圓形到任意陣列。VEECO DEKTAK II還能進行自動晶片裝卸。它配備了晶片處理資產，旨在減少潛在的汙染，以及自動晶片裝卸的機器人處理模型。此外,該設備使用高速PPG、ESD、短時分析和標稱測試功能提供高端性能。SLOAN DEKTAK II晶圓測試和計量系統是一種用於半導體行業多種應用的工具。它能夠測量各種屬性，如表面地形、電氣參數、表面粗糙度、反射率和附著力。它還提供接觸力顯微鏡、CCD相機校準、自動晶片裝卸等先進工具，用於可靠準確的表面分析和計量。