二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9018954 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是一種領先的晶圓測試和計量設備,提供先進的計量能力,為高級半導體器件的表征提供有意義的數據。該系統由幾個組件組成，包括晶片級、自動聚焦單元、光學顯微鏡和自動轉臺。VEECO DEKTAK IIA有一個晶片級，可容納多達八個晶片，為晶片對準和定位提供高達十個自由度。舞臺可以以兩個笛卡爾平行線、四個傾斜軸、兩個旋轉和兩個曲面跟蹤度移動晶圓。舞臺還可以容納300毫米和200毫米晶圓。自動聚焦機在整個測試過程中將晶片保持在1 μ m的最佳聚焦範圍內。自動轉換器允許精確放置晶片,實現了允許一致結果的可重復性。該工具配備了高速、高分辨率的光學顯微鏡，能夠精確測量50海裏以下的特征。SLOAN DEKTAK IIA測量電阻率、地形、臨界尺寸（CD）和覆蓋級別、設備結構以及其他設備參數。它是迄今為止VEECO提供的最靈活的資產，在各種環境中提供了可靠的控制和精確的結果。此外,該模型還具有幾種提高用戶生產率的軟件工具。該設備能夠快速、準確地收集和分析高級流程步驟。它允許進行定量評估，以便能夠監測晶圓產量，確定可重復的器件區域，並提供寶貴的工藝開發反饋。此外，DEKTAK IIA與光束和X射線檢查工具兼容，使製造商可以精確測量晶圓上的各種結構。綜上所述，VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是一種多功能晶圓測試和計量系統，它提供了先進的能力，為高級半導體器件的表征提供關鍵數據。該單元配備了高速、高分辨率的光學顯微鏡，能夠測量分辨率為50 nm的特征。它提供了各種設備參數的快速、精確的數據收集和分析。此外，其獨特的軟件工具提高了用戶的生產率，並允許進行量化評估，用於監測晶圓產量，從而增加利潤。