二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9061410 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是一種自動化晶圓測試和計量設備，設計用於半導體材料的最高精度計量。它為測量臨界尺寸（CD）、叠加對準、輪廓深度、計量特性以及介電層和金屬層的表面輪廓提供了最大的測量精度。系統可測量1.5 nm至0.5 µm的CD。VEECO DEKTAK IIA具有一個大型穿越平臺，提供13 「x 6」的視場和非常長的Z軸範圍，用於掃描和評估晶圓。配備高分辨率壓電控制級，提供最大精度和重復性。該單元配備了亮場和暗場成像檢測系統，一種不利的光線篩選功能，以及幾種激光用於瞄準測量。該機器提供晶片級溫度控制,以確保測量過程中的精度.其先進的階段控制方法利用智能算法，允許精確晶圓對準和正直驗證。它還有一個集成的傳感器和控制器陣列，有助於最大限度地減少頭部汙染。SLOAN DEKTAK IIA在廣泛的體系結構和應用程序中提供高吞吐量、短周期時間和準確性。它有一個數字數據過濾器和傳送工具來處理和收集測量數據。該資產還允許自動跟蹤數據,以便跟蹤數據進行流程後分析。DEKTAK IIA憑借其專有的圖像識別算法提供了出色的晶圓工具對準精度。該模型提供了行業中獨一無二的校準方法。它還具有一整套軟件工具,包括統計設備、模式識別、成像和數據分析功能,以及一套自動化測試,可實現可重復測量。總而言之，VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是測試和計量半導體的理想解決方案。其高精度的測量能力、先進的算法和自動化，以及全面的軟件工具套件，使其成為一個可靠而強大的計量設備，能夠滿足現代半導體制造商的需求。