二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IID #9160091 待售
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ID: 9160091
Profilometer
Three scan speeds
Tracking force: 10 to 50 mg
Measurement range: 50A to 655KA
Vertical resolution (max): 5A
Scan length range: 50um to 30mm
Sample thickness (max): 20mm
Horizontal data points (max): 1000
Horizontal resolution: 0.05um
Stylus force: From 10 to 50mg manual adjustment
Video camera optics for sample viewing: 90x
Sample stage diameter: 127mm
Sample stage x axis: +/- 10mm
Sample stage y axis: +/- 10mm to -70mm
Sample stage theta rotation: 360
Sample stage positioning: Manual
Analytical functions: 4
115 V, 50/60 Hz.
VEECO/SLOAN DEKTAK IID是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計用於對半導體晶圓材料進行快速、準確的分析。該系統由四個主要組件組成:掃描電子顯微鏡(SEM)、集成輪廓儀、粒子/金屬探測器和光學顯微鏡。集成剖面儀測量晶圓的幾何形狀,達到三維精度以及垂直位移和傾斜度。掃描儀在收集地形信息時沿著X和Y軸移動晶片。它可以測量小至0.1 μ m的特征,分辨率為0.25 μ m。粒子/金屬探測器是一種高靈敏度探測器,用於識別和定位晶圓表面的微量金屬元素和粒子,從而能夠及早檢測缺陷。光學顯微鏡是一種改進的數字顯微鏡,能夠放大到1600倍,並與SEM圖像叠加,以準確識別缺陷。VEECO DEKTAK IID還提供了易於使用的圖形用戶界面(GUI)。GUI允許用戶快速直觀地設置單元,方便各級用戶操作。機器包括一套全面的分析工具,使用戶能夠進行表面粗糙度、影印分析、步高測量等測試。為了獲得最大的正常運行時間和吞吐量,SLOAN DEKTAK IID的設計支持自動晶片加載和卸載,並具有多個sampleholder配置。樣品支架的設計便於插入、拆卸和交換。該工具還包括一個自動工藝校正資產,該資產動態調整其參數,以提高工藝優化的準確性。總之,DEKTAK IID是一種先進的晶圓測試和計量模型,旨在對半導體晶圓材料進行快速、準確的分析。它具有高靈敏度的粒子和金屬檢測器以及早檢測缺陷、易於使用的GUI、綜合分析工具、自動過程校正設備以及自動晶片裝卸支持。VEECO/SLOAN DEKTAK IID是半導體晶片測試和計量的理想選擇。
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