二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IID #9237470 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK IID是一種晶圓測試和計量設備，旨在快速準確地測量薄晶圓的物理特性。該系統采用了與VEECO系列晶圓探針相同的先進技術，但增加了測量步高、圖像分辨率等晶圓表面特征的能力。這允許分析半導體過程控制和屈服優化。該單元由封閉式測試室和顯微鏡、掃描儀、電荷耦合器件（CCD）相機和電子設備組成。封閉式測試室與顯微鏡光學器件相連，包含精確校準定位的綜合標準。該掃描儀用於定位樣品，CCD相機確保晶圓、特征和其他測試參數的精確定位和測量。電子包包括信號調節電子、長期內存包和計算機處理器。在操作中，VEECO DEKTAK IID能夠測量和監測晶圓特性如平坦度、步高、偽表面和高分辨率表面成像。機器在整個晶片上也有2 µm的分辨率。為確保精確測量，該工具設計有振動阻尼機構，可快速減少擾動對晶片的影響。該資產的測量範圍為0nm至6.0µm，與類似系統相比，能夠以更精確和可重復性的方式測量晶圓。此外,SLOAN DEKTAK IID還具有用戶友好的軟件包和參數設置,可以對其進行修改以滿足研究和生產要求。這些配置使模型易於配置和操作,以實現快速測試和高產率結果。總體而言，DEKTAK IID是一種強大可靠的晶圓測試和計量設備。其精確、可重復的測量對於半導體工藝控制和產量優化具有重要價值。靈活的軟件包和可靠的設計使系統非常人性化，確保了它在工業測試市場的持續成功。