二手 VEECO / SLOAN DEKTAK SXM #9361063 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK SXM是半導體生產過程中使用的晶圓測試和計量設備。該系統非常適合非接觸表面測量的半導體晶片，尺寸可達300毫米，厚度可達10毫米。該單元用於測量關鍵特征（如電阻率、層厚度和其他材料屬性）,以及表面地形特征（如深度和半徑）。VEECO DEKTAK SXM是一種掃描探針顯微鏡（SPM），可以測量晶圓表面的靜態或動態地形。靜態掃描用於可視化晶圓的表面並進行非接觸式測量。動態掃描提供了曲面的三維（3D）地形圖像。這允許分析晶片表面的階梯層。SXM機器測量多個參數,如表面紋理、步長、線幾何形狀、表面粗糙度和薄膜厚度。它能夠測量尺寸達300納米的特征。該工具還可以測量曲面平坦度和其他2D和3D特征。資產配備了變速驅動馬達，允許探頭以精確的控制掃描表面。在探針和晶片表面之間調整力，以優化測量分辨率。為了最大限度地提高測量精度，該模型包括自動調整探頭高度的自動靜電校準設備。SXM系統設計用於快速、可靠和準確地測量非接觸表面特征。該單元能夠同時測量幾個樣本，可用於測量平面和曲面。它還配備了多種用於數據處理、圖像增強和分析的軟件包。該機設計方便用戶，適用於廣泛的生產應用。