二手 VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #9412436 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Si是專門為矽基材料設計的晶圓測試和計量設備。它提供半導體器件和印刷電路板的非接觸式3-D表面測量。該系統提供高精度、分辨率和可重復性的測量,以及數據收集的完全自動化和靈活性,以滿足半導體制造商的嚴格要求。V-200 Si是一種高精度的3軸顯微鏡，可以測量直徑達200毫米的晶片。配備50-200微米高精度垂直測量軸，提供業界領先的測量精度和重復性。該單元設計用於測量平坦曲面和彎曲曲面。它可以測量地形和厚度以及活躍的設備級特征，如溝槽、接觸通風孔和門氧化物。V-200 Si由高速、5軸運動控制機提供動力,X、Y和Z軸的分辨率為0.2nm,最大移動速度為320 nm/s。該工具還具有傾斜、彎曲和扭曲校正功能,可提高表面測量精度。多區域數據采集資產可確保高速、準確的數據收集。此外,還可以為特定測量設置高達9 fps的幀速率,從而以更少的數據開銷實現更快的結果。該型號配備了對設備性能至關重要的專有軟件和硬件。軟件包括GUI和數據分析程序,允許用戶控制和分析收集的數據。它還可以集成到用戶現有的質量和制造控制系統中。此外,該設備還具有特殊的自動化和安全功能,能夠快速高效地進行測試,同時保持操作員的安全。VEECO V200-SI能夠提供一致、準確的結果，非常適合測量半導體和印刷電路板晶片。該系統具有全自動功能、靈活的數據收集、高精度和集成軟件,是半導體行業的寶貴資產。