二手 VEECO / SLOAN V200-SL #9266835 待售
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VEECO/SLOAN V200-SL晶片測試和計量設備,由VEECO制造,是一種精密、高精度的儀器,設計用於在測試和測量半導體晶片的電性能時提供頂端精度。該系統建立在符合人體工程學的機械設計之上,並由精確、高速的30 kV電子光學器件提供動力,以便進行一致、可靠的成像和測量。它具有精密的脈沖控制,可確保在納米範圍內的精度,因此即使在最高分辨率下也能進行動態時間測量。此外,它還具有動態、自動化的示例階段,可輕松管理各種應用程序和定制的操作員界面。該單元提供了直觀的基於參數的軟件,用於簡單的操作和小點掃描測量功能。它還提供全面的原位電分析,包括跨導電壓(G-V)曲線、柵極泄漏電流、器件透射率、動態介電常數、I-V曲線。為了進行精確、可靠的測試和計量,該機器配備了分辨率為10 µm的先進顯微鏡。此外,它還具有許多旨在提高精度和分析的功能,包括光束電流補償、自動缺陷分析、自動閾值設置和可編程晶片級。該工具有兩種不同的配置,一種是單室,另一種是兩室。單室變體包括一個76mm晶片級,兩室版包括一個150 mm晶片級。每個腔室都有自己的綜合靜態計量和動態電氣測量系統。來自SLOAN的VEECO V200-SL晶圓測試和計量資產是一種包羅萬象的儀器,旨在提供先進的測量精度和可靠性。直觀的操作和全面的現場電氣分析使其成為高精度半導體測試和計量的理想選擇。
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