二手 VEECO V200-Si #9254651 待售

ID: 9254651
晶圓大小: 6"
優質的: 1997
Profilometer, 6" 2D Measurement Substrate, up to 8" Probe force range: 0.3-30 mg Programmable table, 8" With X, Y: 8" x 8" Rotation: 360° Manuals and spare parts included Camera: Remote controlled video camera Zoom lens: 60x - 420x Scan length: 50 µm to 200 mm Stage leveling: Automatic Maximum sample thickness: 45 mm PC Without storage media Operating system: Microsoft Windows 3.1 Processor: Pentium core, 8.0 MB RAM Vertical range: 25 A - 2620 A Vertical resolution: 1 A / 65 kA 10 A / 655 kA 40 A / 2,620 kA 1997 vintage.
VEECO V200-Si是一種晶圓測試和計量儀器,非常適合監測制造過程中半導體的特性。它設計用於處理正面和背面晶片,尺寸可達200毫米。該設備提供了精確測量薄膜沈積過程中摻雜物濃度和層厚度所需的精度。該系統采用多種檢測技術來捕獲晶圓表面的數據,包括原子力顯微鏡(AFM)、電容測量(ECM)和電子能量損失光譜(EELS)。使用AFM選項,VEECO V 200SI可以獲取表面地形信息以及詳細的表面特征圖像。ECM和EELS系統與AFM相結合,提供了一套全面的測量,可以分析晶圓特性到納米級分辨率。V200 SI還包括分析和計量軟件,它簡化了數據分析過程。該軟件使用戶能夠快速準確地測量和表征薄膜的特性。該軟件還可用於生成各種二維和三維圖表,用於繪制過程數據和跟蹤晶圓隨時間推移的性能。該單元與一系列樣品處理系統兼容,方便地將DEKTAK V-200 SI集成到生產線中。該儀器還配備了安全聯鎖和自動校準功能,以確保正常運行和一致的結果。此外,還可以遠程操作VEECO DEKTAK V-200 SI,從而允許用戶快速調整設置和參數,而無需在實驗中進行操作。綜上所述,VEECO V-200 SI是一種先進的晶圓測試和計量機器,能夠精確測量摻雜劑濃度、層厚度和表面地形。它旨在為半導體制造過程提供可靠的數據,其安全特性、與樣品處理系統的兼容性以及遠程操作功能使其成為晶圓測試和計量的理想工具。
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