二手 VERTEX 430 #9182037 待售

VERTEX 430是一款最先進的晶圓測試和計量設備，旨在為高級邏輯器件提供嚴密的過程控制和屈服優化。該系統的一整套測量功能,包括缺陷檢查、CD計量、電氣測量和叠加,有助於確保設備性能和可靠性,同時提供快速、準確和可靠的結果。430利用獨特的光學工程設計，實現CD計量的最高精度和分辨率水平，並允許對各種微觀結構進行快速和可重復的測試。通過6軸視覺定位，該單元可以精確檢測和測量關鍵特征，如CD、圖案寬度、圖案高度等。利用專有的ULO或超低光機,VERTEX 430提供了前所未有的低計數掃描和對準組合,提供了前所未有的速度和準確性。除了CD計量之外,430還提供各種電氣測量和缺陷檢測功能,專門用於檢查高級邏輯設備中的超小型功能。其集成的電導率和充電測量允許即時驗證器件特性和晶體管負載的優化。先進的缺陷檢測功能利用VERTEX 430獨有的深紫外線照明工具檢測結構缺陷,如汙染或顆粒聚集,這些缺陷會降低產量並對設備性能產生不利影響。最後,430的叠加測量功能允許在不同材料層之間進行嚴格的精確定位和對齊。其高速和精確的舞臺運動,以及其專有的Digital Mask-Aligner資產,使模型能夠檢測和測量垂直和橫向方向的小特征。總之,VERTEX 430為高級邏輯設備測試和分析提供了一個多功能一體晶圓測試和計量解決方案。其獨特的光學工程設計,加上其全面的測量能力,有助於確保設備的可靠性和性能,同時提供嚴格的過程控制和生產運行的優化。