二手 VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Benchmark 450 #9180602 待售

VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Benchmark 450是一種晶圓測試和計量設備，開發用於半導體晶圓制造過程。該系統提供了一組獨特的特性，使其適用於工藝表征、斜坡速率測定和缺陷表征。VIEW ENGINEERING Benchmark 450掃描電子顯微鏡（SEM）是一種結合最新的大功率電子光學和新的樣品分期技術的自動化裝置。這允許用戶有效測量亞微米特征的屬性，跟蹤關鍵尺寸、摻雜分布、線邊和蝕刻輪廓。該機器提供了廣泛的分析能力，從簡單的2D表面測量，到復雜的圖像分析和電特性。該工具配備了集成的x-y驅動器和電動舞臺。此設置使用戶能夠執行宏掃描以及亞微米測量。可變聚焦光束允許高分辨率成像,其特征尺寸可低至0.25微米。該資產還配備了高壓電源，使其能夠檢測和分析低損壞特性。GENERAL SCANNING Benchmark 450型號還具有先進的自動化和成像軟件。Sample Equipment Viewer （SSV）軟件允許用戶輕松編程自動化、自定義成像參數以及每個樣本捕獲多達100張圖像。該軟件還提供計量數據的實時分析和報告，使用戶能夠快速識別過程非統一性。該系統的光學器件是專門為連續波電子束操作而設計的，提供了出色的分辨率和重復性。此外，還安裝了一個探測器陣列，使該單元能夠測量單晶和多晶樣品的特性。這些檢測器使用戶能夠快速測量諸如摻雜分布、線邊和蝕刻輪廓等特征的屬性。Benchmark 450是一臺經濟高效的晶圓測試和計量機器,為用戶提供了一套高效而全面的功能。該工具適用於半導體工藝表征、斜坡速率測定和缺陷表征，已在全球數百個生產環境中使用。此資產還提供出色的分辨率、可重復性和自動化軟件。