二手 VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Voyager V18x18 #9231379 待售

VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Voyager V18x18
ID: 9231379
Non-contact metrology system.
VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Voyager V18x18是KLA-Tencor開發的晶圓測試和計量設備,KLA-Tencor是半導體行業計量和質量保證解決方案的全球領先者。VIEW ENGINEERING Voyager V18x18提供了一套全面的計量、地形和故障排除工具。其先進的光學布局通過三個不同的測量領域相結合,可以實現卓越的成像能力。統一的現場設計可確保單個燈的最佳覆蓋範圍,而六角形現場設計則可提供更清晰的圖像,而不是寬視野,這對於自動化過程尤其有利。GENERAL SCANNING Voyager V18x18以KLA-Tencor專有的真空儀系統為基礎,提供深度可達5mm的高精度單鏡頭測量。該單元提供自動區域覆蓋測量和縫合靈活路線。該機還具有自動柱頭和自動MTF(調制傳遞功能)校正設置,有助於優化過程特性。該工具的開放式體系結構允許用戶在各種工具和視圖類型之間切換,從而提供了靈活性。高級3D計量模式通過最大可靠性讀數和從樣本到樣本或工具到工具的調整能力,提高了準確性。高速定位和運動控制資產還提供先進的並行感應器,允許自動並行調節和真實測量。該模型可用於高級級別掃描和映射的預先確定的幹預點。主動變焦和精細變焦模塊可提供精確的分辨率和更高的穩定性,從而獲得最大的精度。Voyager V18x18設備提供了廣泛的報告功能,包括自動關聯圖、全面的覆蓋分析圖、隔離測量、3D散射圖等。該系統具有廣泛的掃描選擇、手動校正和增強的自動化功能,為全自動流程提供了優化的解決方案。總體而言,VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Voyager V18x18是一個高級晶圓測試和計量單元,旨在通過其卓越的光學設計、高精度測量、精密的計量模式和強大的報告套件提供最佳性能。該機具有先進的自動化特性,是半導體和其他制造工藝的理想選擇。
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