二手 WYKO / VEECO 600 #9234535 待售

WYKO/VEECO 600是一種高性能晶圓測試和計量設備，設計用於產品評估的速度和準確性。該系統是分析任意幾何半導體晶片的前端工具，具有多種可用的測量技術，如原子力顯微鏡（AFM）和掃描電子顯微鏡（SEM）。它能夠在整個光刻、沈積、反應性離子蝕刻和其他半導體制造過程中快速、高精度的測量能力。該單位擁有專利的光學計量設計，用於通過其WYKO Instruments品牌獲得的檢驗。這種光學機器包括一個傾斜光源和遠心透鏡工具，兩者都提供了更高的測量精度。資產還配備了用於掃描的雙XYZ掃描模型和可重復的XY或XYZ探測。WYKO 600還提供了晶片表面的特征級可見性，用於故障分析。它集成了硬件和軟件來測量、分析和比較晶圓表面的高分辨率圖像。該設備允許使用粒子分析軟件從晶圓表面的多個位置自動收集數據。該系統配備了具有200或500 nm分辨率和專用測量功能的強大操作模式。這些操作模式具有運動校正、邊緣問題復制和測量冥想以提高分辨率。它具有多目標掃描（MTS）功能,可監控特征一致性並確定過程穩定性和產品一致性。VEECO 600是一個功能強大的晶圓測試和計量單元.它專為速度、精度和方便而設計，可用於優化許多制造工藝。它是審查和分析半導體晶圓幾何形狀的理想工具。