二手 WYKO / VEECO NT 100628 #9105204 待售

WYKO/VEECO NT 100628是一種高精度晶圓測試和計量設備。它設計用於測量與晶圓制造相關的多種參數，包括摻雜水平、模具尺寸、步高、應力剖面和其他半導體特性。WYKO利用專利的非接觸式光學輪廓測量技術，以極高的精確度確定各種表面地形；這與場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）相結合，提供了一套專門針對晶圓制造的測試和計量能力。系統組件包括用於WYKO NT 100628的DBA（數據采集單元）環境外殼、光學移相器、場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）、振動聲學掃描以及各種樣品和階段操縱系統。對於晶片的移動和操縱，包括一個z軸定位器。該裝置能夠在z方向上移動50毫米，在測試和計量操作期間提供準確和穩定的樣品對準。VEECO NT 100628的FE-SEM提供了無與倫比的圖像分辨率和細節，並有自動化圖像優化、光譜圖掃描（以增強圖像對比度）和多種發射電流水平等眾多功能作為後盾。該單元能夠提供精確的晶圓特性測量，無論基板參數或特征大小。NT 100628的光學機器包含許多掃描選項,以允許絕對高度或深度輪廓、具有橫截面深度控制的橫截面成像以及自動設計輪廓。VEECO振動聲學掃描儀（VAS）使用獨特開發的算法來測量形態特征和尺寸。WYKO/VEECO NT 100628還具有自動層厚度剖面儀（ALTP），用於測量晶圓上存在層的厚度。總體而言，WYKO NT 100628是一種高端晶片測試和計量工具，提供了一系列全面的功能，便於對半導體晶片進行準確可靠的檢查、分析和表征。該單元結合了光學、FE-SEM和振動聲學掃描技術,並配有一系列自動化功能,以簡化和加快數據采集和分析。VEECO NT 100628是一種強大可靠的資產,旨在滿足要求最苛刻的半導體生產和研究環境的需求。