二手 WYKO / VEECO NT 3300 #293645434 待售

ID: 293645434
Optical profiler.
WYKO/VEECO NT 3300是一種晶圓測試和計量設備,可以以生產速度加工和分析晶圓,從而實現高效準確的晶圓測試。它可用於平面和3D晶圓尺寸測量,包括表面和側壁輪廓測量、地形測量和薄膜厚度測量。該系統設計用於工藝控制應用,如蝕刻速率、平面度和叠加。它使用非接觸式光學幹涉測量法精確測量二維和三維表面輪廓。特征範圍從幾納米到幾微米。WYKO NT 3300構建在一個強大可靠的軟件平臺上,提供具有各種硬件和軟件選項的集成解決方案。VEECO NT 3300包括一個快速光學單元,它使輪廓掃描速度達到250 μ m/秒,明顯快於常規方法。該機還具有全自動校準工具和完整的計量報告功能。它提供了廣泛的計量工具,如快速掃描算法、低噪聲電子、高精度級、透射和反射光學,以及增強的模式識別。此資產一次可以測量每個晶圓的多個樣本,並具有板載數據存儲,一次最多可以存儲10個晶圓。NT 3300提供軟件控制的晶圓處理,包括晶圓移動和對齊,以及自動化的樣板級控制和映射。它還具有自動模型診斷、簡化的工作流管理和可定制的報告生成功能。此外,該設備還集成了環境控制,可在多個樣品中實現均勻的溫度性能。綜上所述,WYKO/VEECO NT 3300是一個可靠、快速的晶圓測試和計量系統。它有一個非接觸式光學幹涉儀,可以測量從幾納米到幾微米的特征,以及一個掃描速度高達250 μ米/秒的快速光學單元。它還提供增強的工作流、方便的數據存儲和高級示例處理功能。它是一種非常先進的晶圓測試和計量機器,非常適合過程控制應用。
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